真空无氧化烤箱（BCB厌氧固化烤烘箱）是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中，通入N2→真空置换后，采用多级升温保温的方式，在规定的时间从室温升至第一温度阶段，并在该温度段保温1-2h，再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段，并在该温度段保温一定的时间；随后增通过辅助的降温系统（水冷和风冷），将退火炉的温度降至80度左右，完成固化。
小型蒸发镀膜仪，实验室气相沉积设备 用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属 膜，主要用于蒸镀电极及有机半导体材料的物理化学性能研究实验研究 。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。
抗粘 剂气相涂布烘箱，抗粘剂 气相沉积系统主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中硅烷涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。
芯片真空储存柜，半导体真空氮气柜半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等）及机金属加工件与各类不便于冷藏的食品，还有书籍、衣物等厌氧物品的真空存贮，以防潮、防氧化变色。适用于工厂、高等院校、科研等场所。
真空储存柜，真空干燥柜适用于各类化工原料、贵重金属、金属粉末等各种固体、粉状、糊状、液体，电子产品（半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等）及机金属加工件与各类不便于冷藏的食品，还有书籍、衣物等厌氧物品的真空存贮，以防潮、防氧化变色。适用于工厂、高等院校、科研等场所。
抗粘剂涂胶机，抗粘 剂真空预处理系统用于半导体，光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料，如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。
