硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱概述

硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点

Ø  在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø  全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø  强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到所需控制精度。

 温度记录仪

a)   宽视角高分辨TFT彩色液晶屏

b)   六通道、无纸记录方式

c)   曲线、数字、棒图、总览、报警、历史画面显示

d)   通过网络在PC机远程查看本体画面

e)   多功能面板按键

f)   批处理启/停记录，并生成数据文件

g)   数据安全保证

h)   400MB大内存

i)   二进制数据存储

j)   网络化数据冗余

箱体结构

a)   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热、过滤器及风道系统组装而成

结构合理，外观美观大方；

b)   箱体材料：外箱采用优质冷轧板喷塑，可防止微尘；

c)   内胆材料：采用优质SUS304镜面不锈钢板，并经碱 性苏打水清洁

去油污避免烘烤PARTICLE；