晶圆烤箱，超洁净烤箱简介：

   晶圆烤箱，超洁净烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱主要用于：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

技术参数：

内桶：采用SUS304#镜面不锈钢板，经碱性苏打水清洁，避免烘烤时产生灰尘；
中桶：采用SUS304#镜面不锈钢板，经碱性苏打水清洁，全氩弧焊焊接密封，避免烘烤时自身污染；
外部材料：采用SUS304拉丝不锈钢板制造；
保温材料：采用国产优质超细玻璃棉，100K级高密度高保温材料制造，六面保温；
洁净度：100级、10级、1000级

氮气进气口：加装流量计控制进气量,入气口：6mm；
排气口：自动启动风门,达到强烈循环效果而降温的目的

电源：AC220V/380V 50Hz 
温度均匀度：≤±2.0℃；

温度范围：RT+20～300℃，
氧含量：≤500ppm；

内尺寸：W710mm ×D 610mm ×H 560mm（可做上下两箱）；

传感器：采用日制进口感温芯片，不锈钢外套，输出被控制元件：SSR固态继电器输出；
温度控制器:采用多段温度控制器，数字设定，LED显示，PID自动演算，SSR固态继电器输出；
温度控制器显示精度: 0.1；
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超温防止警报装置；
电热、马达过电流?；ぃ?br />控制回路短路及过载?；?；
漏电断路器；
逆向防止器；
机台异常风鸣器；

采用电磁门锁，附断电防开门装置；
三色指示灯：黄色待机,绿色运转,红色超温指示；
配合烘烤流程，控制氮气及空气之启闭，避免氮气浪费；