高温无氧化烤箱又称为无氧化烘烤箱或高温烘箱，是一种在烘焙过程中有效减少甚至消除氧化的关键设备。具有节能、精确的温度控制、有效的抗氧化?；ず投喙δ苄缘忍氐恪?br /> 

　　厌氧烤箱是用来在半导体芯片制造前段制程中旋涂工艺(即涂布工艺)时，进行无氧烘箱、洁净无氧烘箱处理的设备。旋涂工艺需要先将原材料溶解在溶剂中，然后将晶圆表面向上固定在真空吸盘上，滴下固定量的材料，再在旋涂机上高速旋转，从而在晶圆表面形成厚度均匀的薄膜。之后，使用厌氧烤箱在300~400℃条件下进行热处理，去除残留的溶剂并使薄膜变得稳定。
 

　　一、特点
 

　　高效节能：一般采用高效热管技术和先进的保温材料，使得热能得到利用，能源消耗低。
 

　　温度控制精确：具备精准的温度控制系统，能够将温度精确控制在一定范围内，确保烘焙食品烘烤均匀。
 

　　减少氧化：传统烤箱在烘焙过程中会使食品暴露在空气中，导致氧化。而高温无氧化烤箱通过特殊的密封设计和高效热风循环系统，有效减少甚至消除氧化。
 

　　多功能：具备多种烘焙模式和功能，如上下独立控温、热风循环、发酵等，可以满足不同烘焙需求。

 

　　二、工作原理
 

　　高温无氧化烤箱采用先进的热风循环技术，通过将热风在密封的烘烤室中循环，使得食品均匀受热，同时减少与氧气的接触。此外，一些烤箱还采用了氮气或惰性气体置换技术，进一步降低氧化速率。
 

　　三、应用
 

　　广泛应用于食品工业生产中，如面包、饼干、糕点等各类烘焙食品的烘焙。同时，由于其精准的温度控制和多功能性，也受到家庭烘焙爱好者的欢迎，成为制作糕点、面包等食品的重要工具。