SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱概述

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点

Ø  在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø  全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø  强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到高精度温度控制精度。

技术参数

主要技术指标

Ø  无尘等级：Class 100;     

Ø  温度均匀度：±2℃;    

Ø  温度波动度：±0.5℃（空载）；        

Ø  温控精度：±0.1℃;

Ø  进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口： φ3”排风管（外接φ5＂法兰）;