充氮烤箱概述

用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

充氮烤箱结构

烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
箱体材料：外箱采用优质拉丝不锈钢，并经碱性苏打水清洁，可防止微尘；
内胆材料：采用优质SUS304镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

性能

1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*温度控制精度。

技术参数

洁净度100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风速距离。

M计装可编程控制1模式20步骤，zui多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。简单操作的标准计装
标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。